Переход на 300-400 мм технологии производства п/п структур, а также развитие таких отраслей как солнечная энергетика, производство LCD-панелей и светодиодов потребовало существенного увеличения расхода применяемых в технологических процессах коррозионных, легковоспламеняющихся, взрывоопасных и легкоконденсирующихся газов. Для удовлетворения этих потребностей создана новая серия насосов – iXH с широким диапазоном производительности и большей устойчивостью к критичным газовым смесям. При этом эксплуатационные затраты снижены минимум на 10% по сравнению с iH-серией, существенно увеличен промежуток непрерывной работы до профилактического ремонта, увеличена пропускная способность по водороду, стойкость к аммиаку, в несколько раз повышена пропускная способность сконденсировавшихся частиц.
Функциональные особенности систем:
- Управление температурой насоса и бустера в зависимости от применений;
- Возможность использования специальных материалов для корпуса, ротора и уплотнений с целью повышения устойчивости к коррозионным газам;
- Модульная технология системы откачки (насос+бустер) позволяет перекомпоновывать имеющуюся систему при необходимости увеличения (снижения) производительности заменой одной составляющей системы;
- H – модели для прокачки легкоконденсирующихся газовых смесей
- дополнительный поток подогретого азота на вход насоса для предотвращения конденсации частиц;
- специальный дизайн ротора с проходными отверстиями для улучшения эвакуации твердых частиц;
- расширенный диапазон газового модуля для безопасной прокачки критичных газовых смесей;
- повышенная температура бустерной ступени;
- T – модели со встроенной системой нагрева выхода – 160°C (TMS);
- Возможность управления системой и периферийными устройствами, связанными с ней (затворы, клапана) непосредственно с производственного оборудования;
- Встроенный сетевые интерфейсы RS232 и поддержка Ethernet протоколов для организации удаленного мониторинга системы.
Название характеристики
Значение
Максимальная скорость откачки (насос/бустер)
2900 м3/ч (300/3000)
Предельное остаточное давление
0,5 Па (3,8х10-3 Торр)
Мощность в стационарном режиме
5,3 КВт
Электропитание
380 В, 50 Гц, 3ф.
Входной фланец
ISO160
Выходной фланец
NW40
Рабочая температура
5 - 40 °C
Вес
698 кг
Газобалласт (азот, 2.5-6,9 атм.), л/мин
28-44
Шум
Вибрация
Охлаждение (вода) 20±10 °С, 2-6,5 атм.
5,0 л/мин
