Турбомолекулярные вакуумные насосы НВТ-100
Насосы турбомолекулярные вакуумные НВТ-100 предназначены для откачки из вакуумных систем газов и газовых смесей (воздуха), за исключением углеводородов, агрессивных газов, паров и их смесей, воздействующих на конструкционные материалы насосов, создания высокого и сверхвысокого вакуума.
Области применения турбомолекулярных вакуумных насосов:
- масс-спектрометрия, ядерные исследования, электронная микроскопия, ядерные исследования;
- физика поверхности и газовый анализ, производство электровакуумных приборов;
- течеискание, производство полупроводников;
- создание безмасляного форвакуума для электрофизических средств откачки – магниторазрядных, испарительных (геттерных) и криогенных насосов, комбинированных (ионно-геттерных) насосов, постов, агрегатов и т.д.
Насосы поставляются исполнения УХЛ категории 4 по ГОСТ 15150. Для эксплуатации турбомолекулярного насоса НВТ-100 необходима форвакуумная система. Питание турбомолекулярных вакуумных насосов осуществляется от специального блока питания (в дальнейшем – БПТ), не входящего в комплект поставки насоса.
Примеры обозначения при заказе турбомолекулярного вакуумного насоса НВТ-100:
- насоса с впускным присоединительным фланцем корпуса по РД 11 868.006: "Насос НВТ-100-ФР ТУ 3648-003-42186869-2008";
- насоса с впускным присоединительным фланцем корпуса насоса по ОСТ 11 868.007: "Насос НВТ-100-ФО ТУ 3648-003-42186869-2008"
- насоса с впускным присоединительным фланцем корпуса насоса по ГОСТ 26526: "Насос НВТ-100- ФГ ТУ 3648-003-42186869-2008".
ПРИМЕЧАНИЕ: Блоки питания турбомолекулярных насосов БПТ поставляются по отдельному заказу, совместно с насосом или отдельно. Основные технические характеристики насосов приведены в таблице ниже. Конструкция и основные размеры ответных фланцев турбомолекулярных насосов даны в приложении. Основные характеристики блоков питания БПТ, рекомендуемых для питания насосов, приведены на странице сводных характеристик турбомолекулярных вакуумных насосов.
Технические характеристики турбомолекулярных вакуумных насосов НВТ-100
Техническая характеристика
НВТ-100 ФР
НВТ-100 ФО
НВТ-100 ФГ
Быстрота действий насоса по воздуху (без защитной сетки на входе) в диапазоне давлений 1*10-2 - 1*10-4 Па, ± 20%, не менее, л/с
100
100
100
Предельное остаточное давление насоса (при выпускном давлении не более 6 Па), Па
1*10-5
1*10-6
1*10-6
Время разгона, мин
7
7
7
Частота вращения, с-1
466±5
466±5
466±5
Общие уровни виброускорений, замеренные в горизонтальной плоскости впускного фланца насоса, в установившемся режиме, не более, дБ
90
90
90
Охлаждение
воздушное
воздушное
воздушное
Вид смазки
консистентная
консистентная
консистентная
Максимальная температура прогрева входного фланца насоса, °С
45
45
45
Ответный входной (высоковакуумный) фланец насоса, мм
Фланец опорный 100 РД 11 868.006
Фланец с зубом 100 ОСТ 11 868.007
Фланец Ду-100 ГОСТ 26525
Ответный выпускной (форвакуумный) фланец насоса, мм
Фланец 16 ОСТ 11 868.005
Фланец 16 ОСТ 11 868.005
Фланец 16 ОСТ 11 868.005
Габаритные размеры, не более, мм*
180 х 180 х 200
200 х 200 х 210
152 х 152 х 215
Масса, не более, кг*
6
9
8
БПТ-100
БПТ-100
БПТ-100
Максимальная потребляемая БПТ мощность, не более, В*А
100
100
100
3НВР-1Д, 2НВР-5ДМ
3НВР-1Д, 2НВР-5ДМ
3НВР-1Д, 2НВР-5ДМ
Наша фирма ООО "Призма" имеет возможность по ТЗ заказчика разработать и изготовить вакуумные насосы и системы по аналогии сходные с имеющимися, но с другими параметрами.
