Компания РОБВАК поставляет дроссельные заслонки с плавной регулировкой открытия, управляемые серводвигателем или сжатым воздухом. Диаметр дросселируемого отверстия от 100 до 400 мм, все типы фланцев, управление пневматическое или серводивгателем (с монтируемыми в стойку или на клапан контроллерами).
Существует два основных метода контроля давления:
1. Регулируя количество подаваемого газа (расход) при постоянной скорости откачки – регулировка по расходу;
2. Регулируя скорость откачки (изменяя скорость вращения ротора турбомолекулярного насоса или при постоянном расходе газа) – регулировка по откачке.
Для автоматизации процесса в обоих случаях существует обратная связь: значение давления, получаемое от вакуумметра, которое сравнивается со значением давления, которое необходимо получить в вакуумной камере, после чего идет сигнал на увеличение/уменьшение потока или открытие/перекрытие дроссельной заслонки, что уменьшает или увеличивает скорость откачки откачной системы.
Регулировка давления в вакуумной камере с помощью регулировки скорости откачки в некоторых случаях имеет определенное преимущество, связанное с более простым получением и поддержанием требуемого давления и состава остаточного газа. Так, например, при уменьшении расхода технологического газа возможно возникновение потери равновесия между парциальным давлением технологического газа и газов, попадающих в систему при дегазации камеры или через течи (негерметичность, виртуальные течи). Это может повлиять на качество напыляемой плёнки, особенно ее первых монослоёв.
При этом, в первый момент технологического процесса будет происходить увеличение дегазации, связанное с воздействием плазмы на стенки камеры и внутренней оснастки. Получение требуемого давления с помощью регулировки скорости откачки (изменяя скорость откачки откачного средства или регулируя проводимость отверстия перед откачным средством) позволяет не уменьшать расход газа, а поддерживая его на определенном уровне, сохранять баланс парциальных давлений. В дополнение, это приводит к более быстрому удалению дегазирующихся газов из вакуумной камеры. При этом происходит уменьшение не только доли дегазирующихся газов, но быстрый корректирующий отклик дросселя быстро увеличивает скорость откачки, что значительно уменьшает время реагирования или время выставления нового давления в течение технологического процесса.
Дроссельные заслонки серии VARI-Q
Номинальная скорость откачки высоковакуумных насосов как правило проходит при давлениях, меньших чем давления, при которых идут плазменные процессы. Дросселируя с помощью дроссельной заслонки газовый поток на входе в высоковакуумный насос, получают давление в камере (перед заслонкой), при котором может нормально протекать плазменный процесс, а за заслонкой – давление, при котором высоковакуумный насос работает в номинальной режиме. Чтобы обеспечить линейное изменение проводимости заслонки, вращение соседних пластин направлено в разные стороны. Более 20 лет производства запатентованных дроссельных заслонок серии VARIO-Q позволили компании создать очень надежный и удобный в работе узел, применяемый в большинстве вакуумно-плазменных технологий.
Таблица. Минимальные и максимальные значения проводимости дроссельных заслонок серии VARI-Q График зависимости проводимости дроссельной заслонки VQ-10-ASA от уровня закрытия пластинами проходного отверстия 
Компания РОБВАК поставляет два основных вида дроссельных заслонок: пневматические или с управлением от сервопривода.ДРОССЕЛЬНЫЕ ЗАСЛОНКИ С ПНЕВМАТИЧЕСКИМ УПРАВЛЕНИЕМ Для регулировки давления «по расходу» часто также используют дроссельные заслонки, чтобы уменьшить расход технологического газа.
Дроссельные заслонки серии РА обеспечивают двухпозиционное положение пластин заслонки: полностью открытое и какое-либо промежуточное (предварительно выставленное вручную).
Встроенный сверхточный микрометр обеспечивает точность выставления пластин до 0,001 дюйма.
ДРОССЕЛЬНЫЕ ЗАСЛОНКИ С УПРАВЛЕНИЕМ ОТ СЕРВОПРИВОДА При автоматизации управления поддержания давления дроссельная заслонка этого типа может обеспечить любое точное выставление поворота пластин, что позволяет их использовать в системах регулировки как «по расходу», так и «по откачке».
Контроллер (блок управления) сервопривода выпускается в двух версиях: в одном случае он может быть смонтирован на заслонке, а в другом – смонтирован на стойке. Возможность управлять проводимостью перед высоковакуумным насосом открывает широкие возможности для прецизионного регулирования давления в вакуумной камере.
